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罗茨式真空泵(简称罗茨泵)是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用的。其原理和罗茨鼓风机相似。由于它在低压力范围内工作,气体分子自由程较大,气体漏过微小缝隙的阻力很大,因而能获得较高的压缩比,可以作为增压真空泵使用;但它不能单独地把气体直接排到大气中去,需要和前级真空泵串联使用,被抽气体通过前级真空泵排到大气中去。
罗茨泵的特点是:1.转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,互不接触,不需要用油润滑。2.转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。3.泵工作时振动小,容积大,容积利用系数=0.5左右。4.在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。5.启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。6.罗茨泵在很宽的压力范围内(1000P a~1P a)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1000Pa~1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它适合作增压泵用。
罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理,以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。
工作时,被抽气体由进气口进入转子与泵体之间,这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开,被隔开的气体(如图上影线部分所示),在转子连续不断地旋转过程中,被送到排气口。空间是处在封闭状态,因此,没有压缩和膨胀。但当转子的峰部转到排气口边缘时,由于V部分的压力较之排气口处的压力低,为了使相连体积内压力均匀,气体就会从排气口处扩散到V区域,其扩散方向与转子旋转方向相反。当转子再转动时,把V处的气体压缩到排气口将其排出。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体,当转子不断地旋转时,重复上述抽气过程不断地排出流进来的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一小值增加到大值,然后再由大值减小到小值。这就是罗茨真空泵的容积作用原理。
罗茨泵在入口压力很低情况下工作时,由于转子转速很高,转子表面的线速度接近于分子的热运动速度,这时碰撞在转子上的气体分子被转子推带到压力较高的排气口,再被预真空泵排除。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。